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[视觉传感器]-加拿大 加拿大西安大略大学项目:光学微压传感器

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产品内容
西安大略大学科研人员发明的这种基于光子晶体波导管的微光电子压力传感器,是采用平面硅晶绝缘体技术制造的。该设备的操作的原理是利用微光电子波导管周围材料的折射率变化,来改变光通过波导管的传播。在这种传感器中,有个活跃的微型传感元件(该元件包含一个能暂停光学波导的空气桥),可通过光学读出将机械外部输入(包括力、压力、加速度等)转换成光学信号。膜的偏转有效地改变了光子晶体波导管(通过波导管改变传输)周围的折射率。
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