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[视觉传感器]-英国 英国女王贝尔法斯特大学氢传感器技术

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英国女王贝尔法斯特大学(QUB)研制的这项新设备目前在位于谢菲尔德的EPSRC国家III-V实验室制造。基本器件是将一个很薄的Pd条(长度?160μm,宽度?4μm且厚度<10nm)沉积在一个n-InP衬底上。该设备可以被定制用于?10秒时间尺度、氢水平?1%的检测。该器件在标准的半导体加工设备采用标准的半导体制造技术制造,因此低成本是其突出特点。即使在非常温和的光刻分辨率下(例如线宽度为4μm),也可生成非常有效的设备。
产品特色
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服务流程
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产品价格
暂无
其他
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